產(chǎn)品特點 ?采用高解析度對位單元,貼裝精度高 ?兼具3個6寸晶圓的Wafer供料系統(tǒng),穩(wěn)定便捷 ?剔除和焊接溫度持續(xù)精準控制 產(chǎn)品參數(shù) 貼裝精度:±10μm 重復精度:±2μm 鍵合力適用范圍:20-500g